エリオニクス

電子ビーム描画装置

主力である電子ビーム描画装置は、ICチップに刻まれる微細な回路パターンを描く半導体製造になくてはならない装置です。
1997年に世界で初めて10nm描画を実現し、2010年に5nm保証、2018年には4nm以下と進化を続け、現在は最小線幅3nm 線を描くまでに至りました。一般的な生産用途では10nmで十分とされる超高精細描画の限界に今なお挑み続けています。

超微小押し込み硬さ試験機

ナノインデンテーション試験に用いる装置です。 ビッカースでは計測できない10μm以下の極薄膜等の素材の硬さが計測できます。
得られた荷重-変位曲線からサンプルの機械特性 (硬さ、弾性率 etc.) を算出します。
ナノインデンテーション試験機は世界で3社が製造し、当社が日本唯一の製造メーカーになります。

エリオニクスの強み

微細加工分野、計測分析分野の幅広い自社ブランド製品をラインナップしているため、微細加工から観察まで、ナノテクノロジーにおける一連のプロセス販売を可能としています。

製品開発は上流から下流まで

研究開発・設計（機械・電気電子・ソフトウェア）が所属する装置開発部門は、参加するプロジェクトの企画・設計・試作・評価のすべての工程に携わります。若手のうちからプロジェクトに参画し、製品開発の最前線で経験を積みながら成長できることが特徴です。

高専生が多く活躍する組立製造職

当社の製品はライン作業ではなく、一定の区画にて組立作業を行うセル生産に近い生産方式です。
一台一台を手作業で組み立てるため、高専で培った技術や作業力が活かせます。

快適な作業環境

当社の製品開発・製造エリアは、装置の品質維持のため温度・湿度が一定に管理されています。そのため、季節を問わず快適な環境で作業することができ、夏は涼しく、冬は暖かい作業場です。